CNC金属切削工作機械の加工精度は、当初のワイヤーレベル（0.01mm）からミクロンレベル（0.001mm）まで向上しており、品種によっては0.05μm程度に達しています。超精密 CNC 工作機械の微細な切断や研削では、精度は安定して約 0.05μm、形状精度は約 0.01μm に達します。-光、電気、化学などのエネルギーを利用した特殊加工の精度はナノメートル（0.001μm）レベルに達します。工作機械構造設計の最適化、工作機械部品の超仕上げと精密組み立て、高精度フル-閉ループ制御および温度や振動などの動的誤差補償技術の使用-により、工作機械加工の幾何学的精度が向上し、形状や位置の誤差、表面粗さなどが低減されます。サブ-ミクロンおよびナノ-スケールの超-仕上げの時代に突入します。
